PiezoMotor 超声波压电电机

PiezoMotor是基于压电材料微电机开发商和生产商,产品广泛用于生命科学仪器医疗器械、半导体、光学和先进工业自动化等行业,例如半导体加工设备、纳米定位系统、高级光学应用、主动自动对焦系统、微透析泵和手术机器人

 

 

PiezoMotor特殊的超声压电技术使紧凑型电机具有精度和真正的直接驱动,如LL06LT20 LT40等直线电机与欧元硬币的尺寸对比

 

 

Piezo LEGS® 电机的工作原理

 

Piezo LEGS® 与摩擦驱动一起工作,其中力由压电陶瓷致动腿的预紧力产生,与转子或驱动杆直接摩擦接触。当腿开始行走时,它们始终与驱动杆保持机械接触。

 

 

通过向陶瓷施加电压信号来创建受控运动,步长取决于负载,如下图所示:一个完整的步骤可以分为数千个微步,微步长可达亚纳米级。

针对高微步分辨率优化的波形。

微步 = 波形的一部分(整步);例如每个波形 8192 微步。

 

 

Walking Principle Piezo LEGS Linear motor

 

PiezoMotor压电电机技术的主要优点

 

直线运动0-80 mm行程

非常高分辨率-纳米级别甚至更高

力范围从几牛顿到 450 牛顿

紧凑的设计使小型化成为可能

零背隙和自锁

无磁性,不产生磁场,可真空兼容

 

PiezoMotor标准压电电机系列